NanoIC : en Belgique, une ligne pilote de semiconducteurs à 2,5 milliards d’euros

Louvain, en Belgique, peut désormais s’enorgueillir de disposer d’une salle blanche de 2 000 m² dans laquelle seront bientôt conçus, développés et testés des procédés visant à produire des semiconducteurs avec une finesse de 2 nm ou moins. Baptisée NanoIC, cette ligne pilote a été inaugurée lundi 9 février dans les locaux de l’Imec (Institut de microélectronique et composants), l’institut de recherche interuniversitaire flamand responsable de ses opérations.

NanoIC devrait recevoir dès le mois de mars la dernière pièce majeure nécessaire au lancement de ses activités, un scanner lithographique EUV High-NA fourni par ASML. Une machine de pointe, dont le prix se compte en centaines de millions de dollars, et qui entre en œuvre dans les procédés de gravure les plus avancés du marché, chez TSMC comme chez Intel avec le procédé Intel 14A, annoncé début 2024.

Contrairement à ces projets industriels, qui servent une logique de production de masse, la ligne NanoIC est pensée pour la R&D. « En donnant accès à des technologies de semi-conducteurs de pointe, la ligne pilote NanoIC jouera un rôle crucial dans le renforcement du tissu industriel européen à l’ère de l’IA et dans la garantie d’un climat de croissance économique, de sécurité et de prospérité pour les décennies à venir », promet ainsi Luc Van den hove, directeur de l’Imec, selon qui une nouvelle salle blanche, de 4 000 m² cette fois, est déjà en préparation.

Dans son ensemble, le projet a également vocation à essaimer au sein des structures partenaires de l’Imec, dont le CEA-Leti (France), l’institut Fraunhofer (Allemagne) et les centres de recherche techniques VTT (Finlande), CSSNT (Roumanie) et Tyndall National Institute (Irlande).

Cette ligne pilote représente un investissement global de 2,5 milliards d’euros, dont 700 millions d’euros apportés par la Commission européenne. Le principe en avait été validé au printemps 2024, dans le cadre du Chips Act de l’Union européenne, qui prévoit une enveloppe totale de 43 milliards d’euros pour promouvoir la fabrication européenne de puces électroniques et répondre aux plans d’investissements chinois et états-uniens.

Fin janvier, le CEA-Leti a lui aussi inauguré sa propre ligne pilote, surnommée FAMES et installée dans ses locaux de Grenoble. Cofinancée par France 2030, elle représente un investissement de 830 millions d’euros, tourné vers cinq technologies considérées comme stratégiques : les prochaines générations de procédés FD-SOI, les mémoires non volatiles embarquées, l’intégration 3D, les composants RF passifs et les composants passifs pour la gestion de puissance.